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深能級瞬態譜儀(DLTS)是檢測半導體材料和器件缺陷和雜質的最好技術手段，它可以測定各種深能級相關參數，如深能級，俘獲界面，濃度分布等。
更新時間：2025-12-24
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拉曼光譜用來測試材料應力，摻雜濃度和sheet& pattem等。從散射光的能量轉移，強度和偏振等方面可以獲取樣品豐富信息,如:結晶取向，組分，機械應力，摻雜和溫度變化等。
更新時間：2025-12-24產品型號：瀏覽量：1226
原子力顯微鏡使用非常小的探針，掃描樣品表面，在原子尺度探測樣品形貌。Semilab的AFM設備，可靈活配置和測試，具備優異測試穩定性和可靠性。
更新時間：2025-12-24產品型號：瀏覽量：1276
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